真空机组一样平常由下列元件组成：种种；真空丈量安装；真空阀门；真空管道和一些别的元件，比方扑集器、真空讨论、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。
按机组的事情压力分，有粗真空机组(>1330Pa)；低真空机组(1330~0.13Pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；极高真空机组(<1.2×10-11 Pa)。
用于较高真空的罗茨真空泵(机器增压泵)不克不及直排大气，如直排大气会形成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会形成罗茨真空泵过热致使罗茨真空泵转子之间的巨大间隙很快因热收缩而卡去世。为包管罗茨真空泵能到达较高真空必需包管罗茨真空泵转子之间的间隙。以是罗茨真空泵利用时必需设有前级泵，用前级泵将体系内压力抽至肯定范畴内时再启动罗茨真空泵，云云可以制止罗茨真空泵过载。前级泵可以选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。
罗茨真空机组在一样平常状况下，选用水环泵作为前级泵比别的真空泵更为有利，这次要是由于它可以抽除少量的可凝性蒸汽，分外是当气镇油封机器真空泵扫除可凝性蒸汽才能不敷，或利用的溶剂能使泵油好转而影响功能，大概是真空体系不容许油净化的时分更为分明。
低真空机组的次要特点是事情压力高，排宇量大，但抽速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放宇量很大，事情压力较高的真空保送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空枯燥等安装中。低真空机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水放射泵、水蒸汽放射泵、水环泵、油蒸汽放射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。利用低真空机组，还必要依据被抽气体的干净水平、湿度等工艺要求，设置装备摆设除尘器、枯燥过虑器等元件。比方我厂消费的JZJB,JZJ2B,JZJS等罗茨水环真空机组
高真空机组比方JZJX,JZJP型罗茨旋片真空机组等。
①选好主泵，主泵有分散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、高温泵等。
②选好预抽泵、储气管(防震、延长事情周期、避免真空室内刹时少量放气、波动分散泵出口压力)
超高真空机组
主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。
①分散泵机组：低落返流、控制净化;
②分子泵机组：对氢紧缩比小，剩余气体次要是氢;
③溅射离子泵机组：通常与钛泵团结利用;
④高温泵机组：无净化。
因超高真空机组造价本钱较高，组装结构组成较严厉，现渐渐被罗茨旋片真空机组所代替。但在极端严厉的事情情况要求下照旧又肯定量的需求。
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